Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook

Zunehmend setzt man in der Halbleiterindustrie gasfrmige Ausgangsstoffe ein. Ganz klar: Dies bewirkt, da die Reinheit der Gase in den Mittelpunkt des Interesses rckt. Anbieter technischer Gase prfen die Qualitt ihrer Produkte zu oft noch mit primitiven, eigentlich lngst veralteten Methoden. Dieses Buch will Ihnen einen systematischen, kompakten berblick ber modernste Technologien der Gasanalyse bieten. Sie erhalten das Rstzeug, Ihre Analysen effektiv und sinnvoll planen und bewerten zu knnen sowie ber eventuell sinnvolle Neuanschaffungen von Gerten zu entscheiden. - Fr Analytiker in Halbleiterherstellung, Elektronik und alle, die hochreine Gase herstellen und anbieten! Aus dem Inhalt: The Specialty Gas Industry/ Historical Gas Industry/ Historical Development of Gas Analysis/ The Path less Taken: Fruitless Pursuits in Specialty Gas Analysis/ Contemporary Gas Analysis: Equipment and Methods/ Future Directions in the Specialty Gas Field.